三坐標測量機尺寸測量的示值誤差

 　　zui大允許探測誤差(MPEp)：由三坐標測量機的規范、規程等所允許的探測誤差的極限值。三坐標測量機尺寸測量的zui大允許示值誤差(MPEE)：由三坐標測量機的規范、規程等所允許的坐標測量機尺寸測量的示值誤差E的極限值，是測量機本身的精度標志。

　　三坐標測量機尺寸測量的示值誤差(E)：用坐標測量機從相反的兩個方向接近探測點，測定尺寸實物標準器的兩標稱平行平面間的法向(與一個面正交的)兩相對點距離的示值誤差。三坐標由于零部件的機械加工、裝調等因素，使儀器本身存在誤差。通常將坐標測量機的幾何參數誤差按其在各運動自由度方向作用分類，分為3 項位置度、6項直線度、9項角擺誤差、以及三軸相互之間的3項垂直度，共21項參數誤差。對水平臂三坐標測量機則為24項誤差，即加上水平臂伸出時的下垂量誤差。21項誤差是測量機的基本幾何誤差，各個三坐標生產廠家都嚴格測量控制這21項幾何誤差，利用雙頻激光干涉儀、高精度電感、水平儀等測量補償測量機幾何誤差，保證滿足測量機的示值誤差和探測誤差。

　　三坐標測量機本身誤差包括兩個部分：

　　第一部分是測座系統以上部分的綜合誤差MPEE可以通過測量三個軸向以及四個空間方向的量塊組合來檢驗。這項誤差是隨著機器的使用壽命、使用狀態而逐漸增大的，良好的測量機使用習慣以及設備的日常維護保養，還有設備的定期校驗、補償，可以有效的縮小該誤差的變化，從而達到減少這項誤差的目的。MPEE表達式為:E=a+L/b ;a 為一個常數，I為長度，b 為一個比例常數。E單位通常用Hm 表示。這樣就要求只能測量公差為3E 的產品，即工件要求的公差為0.01mm，那么所使用的三坐標E值不能超過3/0.01mm.I值過大就不能保證測量結果的正確性。第二部分是測頭測針組件帶進的誤差。

　　包括可旋轉測座的旋轉定位誤差，加長桿和各種轉接、關節帶進的誤差。以蔡司三坐標旋轉測頭為例，它的旋轉定位誤差在0.5μm左右，可以說這項精度是很高的，但是隨著旋轉次數的增加，這個值便會逐漸累積形成一個不可忽視的誤差。由加長桿和各種轉接、關節帶進的誤差值，每臺三坐標測量機是不同的，但是有一個大體的范圍，可以由試驗獲得。

　　按經驗來說蔡司測針的碳纖維加長桿+TP200傳感器+短測針的精度損失在0.6-0.8μm。要減少這一部分誤差一是要定期對測針進行校驗，條件允許的話，在每次測量一個工件之前先校驗一下測量這個工件所要用到的各種測針;二是測量工件時選擇盡可能短的測頭測針組，這樣可以有效減少測針組件帶來的誤差;三是購置三坐標測量機時根據日常測量工件的精度選擇測量機測座測針類型，如精度要求較高的可以選用固定式測座系統